کاربردهای الکترونیک پلاسما در ساخت دستگاه های میکروالکترونیک
Plasma Electronics Applications in Microelectronic Device Fabrication
نویسنده: T Makabe and Z Petrovic
ناشر: Taylor & Francis, Series in plasma physics, New York, New York State, 2006
سال انتشار: 2006
تعداد صفحات: 336
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 6 مگابایت