فرآیندهای اچ پلاسما برای تحقق اتصال در VLSI
Plasma Etching Processes for Interconnect Realization in VLSI
نویسنده: Nicolas Posseme
ناشر: Elsevier
سال انتشار: 2015
تعداد صفحات: 123
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 4 مگابایت