منابع پلاسما برای رسوب و اچ فیلم نازک
Plasma Sources for Thin Film Deposition and Etching
نویسنده: Maurice H. Francombe and John L. Vossen (Eds.)
ناشر: Academic Press, Incorporated, Physics of Thin Films, Physics of Thin Films 18, 1994
سال انتشار: 1994
تعداد صفحات: 331
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 4 مگابایت