الکترونیک پلاسما: برنامه های کاربردی در ساخت دستگاه میکروالکترونیک
Plasma electronics: applications in microelectronic device fabrication
نویسنده: T. Makabe, Z. Petrovic
ناشر: Taylor & Francis
سال انتشار: 2006
تعداد صفحات: 336
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 4 مگابایت