پردازش پلاسما برای VLSI
Plasma processing for VLSI
نویسنده: Norman G Einspruch; Dale M Brown
ناشر: Academic Press
سال انتشار: 1984
تعداد صفحات: 523
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 60 مگابایت
توضیحی برای این کتاب ثبت نشده است.