پلیمرها در میکرولیتوگرافی.. مواد و فرآیندها
Polymers in Microlithography.. Materials and Processes
نویسنده: Reichmannis E., MacDonald S.A., Iwayanagi T.
ناشر: ACS
سال انتشار: 1989
تعداد صفحات: 450
زبان: English
فرمت: djvu - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 5 مگابایت