نانومترولوژی دقیق: حسگرها و سیستمهای اندازهگیری برای تولید نانو
Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing
نویسنده: Wei Gao (auth.)
ناشر: Springer-Verlag London
سال انتشار: 2010
تعداد صفحات: 369
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 22 مگابایت