شبیه سازی پیش بینی پردازش نیمه هادی: وضعیت و چالش ها
Predictive Simulation of Semiconductor Processing: Status and Challenges
نویسنده: J. Dąbrowski, E. R. Weber, H.-J. Müssig (auth.), Dr. Jarek Dabrowski, Professor Dr. Eicke R. Weber (eds.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 2004
تعداد صفحات: 504
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت