پی وی سی برای انعطاف پذیری میکرو الکترونیک بخاری استفاده شده برای ساخت نیمه هادی ها
Pvd for Microelectronics Sputter Deposition Applied to Semiconductor Manufacturing
نویسنده: Ronald A. Powell, Stephen Rossnagel
ناشر: Academic Press
سال انتشار: 1999
تعداد صفحات: 435
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 23 مگابایت