پردازش حرارتی سریع برای دستگاه های نیمه هادی آینده
Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices
نویسنده: H. Fukuda
ناشر: Elsevier Science & Technology Books, Elsevier Ltd., Amsterdam, 2003
سال انتشار: 2003
تعداد صفحات: 161
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 7 مگابایت