پردازش حرارتی سریع نیمه هادی ها
Rapid Thermal Processing of Semiconductors
نویسنده: Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh (auth.)
ناشر: Springer US
سال انتشار: 1997
تعداد صفحات: 374
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 15 مگابایت