رسوب دهی واکنشی
Reactive Sputter Deposition
نویسنده: Tadayoshi Ono, Takahiro Kenmotsu, Tetsuya Muramoto (auth.), Dr. Diederik Depla, Dr. Stijn Mahieu (eds.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 2008
تعداد صفحات: 583
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 21 مگابایت