لیتوگرافی نیمه هادی: اصول، روش ها و مواد
Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials
نویسنده: Wayne M. Moreau (auth.)
ناشر: Springer US
سال انتشار: 1988
تعداد صفحات: 936
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 54 مگابایت