میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم
Silicon wet bulk micromachining for mems
نویسنده: Prem Pal, Kazuo Sato
ناشر: Pan Stanford Pub
سال انتشار: 2016
تعداد صفحات: 425
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 14 مگابایت
توضیحی برای این کتاب ثبت نشده است.