فناوری مسطح سیلیکونی: فرآیندهای اساسی، فیزیک و دستگاه ها
Silizium-Planartechnologie: Grundprozesse, Physik und Bauelemente
نویسنده: Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. Hans-Günther Wagemann, Dr.-Ing. Tim Schönauer (auth.)
ناشر: Vieweg+Teubner Verlag
سال انتشار: 2003
تعداد صفحات: 227
زبان: German
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 13 مگابایت