فیزیک ساخت میکرو/نانو
The Physics of Micro/Nano-Fabrication
نویسنده: Ivor Brodie, Julius J. Muray (auth.), Ivor Brodie, Julius J. Muray (eds.)
ناشر: Springer US
سال انتشار: 1992
تعداد صفحات: 661
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 16 مگابایت