پردازش فوق العاده تمیز سطوح نیمه هادی IX (UCPSS 2008): نهمین سمپوزیوم بین المللی در مورد پردازش فوق العاده تمیز سطوح نیمه هادی (UCPSS) در بروژ، بلژیک، 22 تا 24 سپتامبر 2008 برگزار شد.
Ultra clean processing of semiconductor surfaces IX (UCPSS 2008) : 9th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS) held in Bruges, Belgium, September 22-24, 2008
نویسنده: Paul Mertens; Marc Meuris; Marc Heyns
ناشر: Trans Tech
سال انتشار: 2009
تعداد صفحات: 396
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 81 مگابایت