پردازش فوق العاده تمیز سطوح نیمه هادی XI: مقالات منتخب و بررسی شده از یازدهمین سمپوزیوم بین المللی در مورد پردازش فوق العاده تمیز سطوح نیمه هادی (UCPSS)، 17-19 سپتامبر 2012، گنت، بلژیک
Ultra clean processing of semiconductor surfaces XI : selected, peer reviewed papers from the 11th international symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS), September 17-19, 2012, Gent, Belgium
نویسنده: Marc Heyns; Paul Mertens; Marc Meuris
ناشر: Trans Tech Publications Ltd
سال انتشار: 2013
تعداد صفحات: 328 pages : illustrations (black
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 64 مگابایت