پردازش سطحی فوق تمیز ویفرهای سیلیکونی: رازهای تولید VLSI
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing
نویسنده: Takeshi Hattori (auth.), Dr. Takeshi Hattori (eds.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 1998
تعداد صفحات: 633
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 24 مگابایت