فناوری ساخت ویفر در مقیاس برای مدارهای مجتمع فوتونیک سیلیکونی
Wafer-Scale Fabrication Technology for Silicon Photonic Integrated Circuits
نویسنده: Shankar Kumar Selvaraja
ناشر: Faculty of Engineering and Architecture, Shankar Kumar Selvaraja, 2005
سال انتشار: 2005
تعداد صفحات: 246
زبان: English
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 24 مگابایت