ذخیره سازی اطلاعات مربوط به قطعه کار به عنوان پایه ای برای مفهوم فناوری اطلاعات برای تولید نیمه هادی
Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen
نویسنده: Dipl.-Ing. Klaus-Dieter Sauter (auth.)
ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg
سال انتشار: 1990
تعداد صفحات: 114
زبان: German
فرمت: pdf - قابل تبدیل به سایر فرمت ها
حجم فایل: 4 مگابایت